شرکت Hanturbo Technology (Zhejiang) یکی از تولید کنندگان و تامین کنندگان پیشرو تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی در چین است. ما در ارائه خدمات سفارشی با کیفیت بالا با قیمت رقابتی تخصص داریم. اگر قصد خرید تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی با تخفیف را دارید، به دریافت قیمت از کارخانه ما خوش آمدید.
تجهیزات{0}}تصفیه الکترونیکی گاز با خلوص بالا، تجهیزات اصلی پشتیبانی برای زمینههای تولیدی{{1}بالا مانند نیمه هادی، فتوولتائیک و پانلهای نمایشگر است. این به طور خاص برای حذف ناخالصیهای ناچیز از گازهای-الکترونیکی طراحی شده است. این تجهیزات از فناوری پیشرفته تصفیه عمیق استفاده می کند که می تواند خلوص گاز را به بالای 99.9999% برساند و فرآیندهای تولید پایدار و قابل اعتماد و کیفیت محصول برتر را تضمین کند.
جزئیات
عملکرد تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی با خلوص بالا بهعنوان یک حلقه کلیدی در زنجیره صنعت تولید نیمهرسانا، مستقیماً بازده و قابلیت اطمینان تولید تراشه را تعیین میکند. این تجهیزات به طور خاص برای تصفیه عمیق گازهای ویژه الکترونیکی (مانند اکسید نیتروژن، تری کلرید بور، تری متیل سیلان، پروپن، اکتافلوئوروسیکلوبوتان، هگزافلوئورواتان، دی اکسید کربن، مونوکسید کربن، برمید هیدروژن و غیره) توسعه یافته است. می تواند به طور موثر رطوبت، اکسیژن، ذرات معلق، یون های فلزی و سایر ناخالصی های مضر را از گاز حذف کند، خلوص گاز را تا سطوح خلوص فوق العاده بالا (بیش از یا مساوی 99.9999%) افزایش می دهد، و نیازهای سختگیرانه فرآیندهای پیشرفته مانند 7 نانومتر و کمتر را برای کیفیت گاز برآورده می کند.
مزایای فنی
راندمان تصفیه فوق العاده-بالا:خلوص گاز تصفیه شده می تواند به 99.9999٪ (سطح 6N) برسد و محتوای ناخالصی کمتر از استاندارد صنعت است.
کنترل هوشمند:اتخاذ سیستم کنترل تمام اتوماتیک PLC، پشتیبانی از نظارت از راه دور، تشخیص خود{0}}عیب و هشدار خودکار.
طراحی مدولار:می تواند به طور انعطاف پذیر با توجه به نیازهای مشتری پیکربندی شود، برای تعمیر و نگهداری و ارتقا مناسب است.
صرفه جویی در انرژی-و حفاظت از محیط زیست:عملیات کم مصرف انرژی، مطابق با مفهوم تولید سبز.
عملکرد پایدار- طولانی مدت:عمر مواد خالص سازی هسته طولانی است و چرخه عملیات مداوم می تواند به 2-3 سال یا بیشتر برسد.

تضمین کیفیت
انتخاب مواد:تمام قطعات در تماس با گاز از فولاد ضد زنگ درجه 316 EP یا مواد درجه بالاتر ساخته شده اند و دیواره داخلی آن به صورت الکترو-رای کمتر یا مساوی 0.25 میکرومتر است.
تست دقیق:هر دستگاه قبل از ارسال تحت آزمایشهای متعددی از جمله تشخیص نشت طیفسنجی جرمی هلیوم، شمارش ذرات و تجزیه و تحلیل رطوبت/اکسیژن قرار دارد.
استانداردهای بین المللی:مطابق با SEMI، GB/T، ISO و سایر مشخصات استاندارد داخلی و بین المللی.
مدیریت ردیابی:یک سیستم ردیابی با کیفیت کامل ایجاد شده است، با اجزای حیاتی قابل ردیابی به دسته مواد خام.

راه حل هایی برای نگرانی های مشتری
| تمرکز بر مشتری | راه حل های ما |
| خلوص گاز استاندارد را برآورده نمی کند | راه حل های تصفیه سفارشی برای اطمینان از خلوص الزامات پنجره فرآیند |
| پایداری ضعیف تجهیزات | طراحی اضافی + دوبار پشتیبان گیری از اجزای کلیدی، MTBF بیشتر یا مساوی 80000 ساعت |
| هزینه نگهداری بالا | عمر طولانی-مواد مصرفی + عملکرد بازسازی آنلاین، کاهش هزینه های عملیاتی |
| منطقه اشغال شده بزرگ | طراحی یکپارچه فشرده، صرفه جویی 30 درصدی در فضا در مقایسه با تجهیزات سنتی |
| ریسک ایمنی | چند قفل ایمنی + طراحی ضد انفجار-، مطابق با استانداردهای ایمنی SEM S2/S8 |
تگ های محبوب: تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی، تولید کنندگان تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی چین، تامین کنندگان، کارخانه, تجهیزات تصفیه گاز الکترونیکی, تجهیزات پالایش گاز الکترونیکی, تجهیزات گاز خنده آور, واحد تولید گاز N2O, کارخانه تولید گاز خنده آور N2O, تجهیزات تولید N2O
